Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов
Шевчук С.Л.
Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником (ИИ) с замкнутым дрейфом электронов.
年:
2002
出版:
Кандидатская диссертация
语言:
russian
页:
161
文件:
PDF, 8.29 MB
IPFS:
,
russian, 2002